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GX1000N 干式泵 380-460 V 50/60 Hz，PN：A54781959
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
氧化物腐蚀
金属腐蚀
植入源
功能和优势
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比，设施成本zui 多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便，便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的zui 快的负载锁定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m3h-1绩效
峰值速度: 800 m3h-1
471 ft3min-1
13333 lmin-1
极限压力: 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.10 Pa
700 Torr 排气压力下的极限
功率: 1.6 kW
AUC（有源设备控制器）: 1.05 kW
水*
水入口: 2 slm
氮气: 4 或 14 slm **
安装详细信息:
占地面积（不包括排气装置）: 0.20 m2
重量: 230 kg
进气口连接: ISO 100
出气口连接: NW25
极限噪音: <55 dB(A)
