供应爱德华干式真空泵维修保养 iH 160

iH160 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相，PN：A59010945

iH160 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相，PN：A59010946

iH160 干式泵 230V，60 Hz，3 相，PN：A59010957

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照zui 高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时zui 大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

  

Edwards iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

 

 

应用

 

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

 

 

功能和优势

 

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时zui 大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

 

峰值速度:     165 m3h-1

              97 cfm

              2750 l min-1

极限真空:     1 x 10-2 mbar

              7.5 x 10-3 Torr

              1 Pa

典型轴封氮流量: 4 slm

进气口连接:  ISO63

出口连接:  NW40

15 psi 压降下典型冷却水流量: 120 l h-1

                               2 l min-1 

重量:  244 kg

极限功率输入: 3.1 kW

电机额定功率: 5.0 kW

油容量:       0.85 l