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施工准备
现场状况核查
确认原有设施的拆除，保留，并标记，商讨拆除物的处理，运出方式。
确认原有风管，各类管线变动，拆除，保留的对象，并标记，确定风管，各类管线的走向，突出系统附件的实用性等。
确认拟改造设施，增设的较大型设施的屋面，楼面位置，并确认相关的承载能力，对周围环境的影响等，如冷却塔，制冷机，变压器，有害物质处理设备等。
原有工程状况检查
检查现有工程的主要平面，空间尺寸，采用相关仪器进行必要测量，并同竣工资料进行比较核查。
对需要拆除的设施，各类管线的工作量进行估计，包括运出处理所需的措施，工作量。
确认施工过程的电力供应等条件，原有电力系统的拆除范围，并标记。
协调改造施工程序和安全管理措施。
开工准备
通常改造工期较短，应提前订购设备，材料，以确保一旦开工顺利进行施工。
划基准线，包括洁净室墙板，顶棚，主要风管和重要管线的基准线。
确定各类材料的堆放场地，必要的现场加工场地。
准备施工用临时电源，水源和起源。
在施工现场准备必须的消防设施和其他安全设施，并对施工人员进行安全教育，张贴安全规定等。
为确保洁净施工质量，应结合改造洁净室的具体情况，对施工人员讲授洁净技术常识，涉及安全的要求和具体要求，提出必要的着装，安装机具，清洁用品和应急安全用品的要求和规定等。
施工阶段
拆除工程
尽可能不使用有大的操作，特别是拆除有可燃性，爆炸性，腐蚀性，毒性物质的输送管线，排气管线时，当必须使用有火操作时，在1h以后确认没有问题方可离开现场。
对可能产生振动，噪音等的拆除工作，应事前同有关方面协调，确定施工时间。
应妥善处理系统断开和拆除前的必要测试工作测量，压力等，当撕开电源时，必须有操作电工在现场处理有关安全，操作事宜。
风管施工
严格按有关规定进行现场施工，并应根据改造现场施工，并应根据改造现场的实际情况制定施工及安全规定。
妥善检测，保持管内外的清洁，两端应用塑料薄膜风口。
配管配线施工
配管配线所需的焊接作业，应备好消防灭火器材，石棉板等。
严格按配管配线的有关施工验收规范进行，若现场邻近处不允许使用水压试验时，可采用气压试验，但应按规定采取相应的安全措施。
当与原有管道链接时，应事先制定链接前和链接时的安全技术措施，尤其是对于可燃，有毒气体，液体管道的链接，操作时，有关方面的安全管理人员必须在现场，必要时要备好消防灭火器材。
对输送高纯介质管道的施工，除应遵守有关的规程外，还应特别注意与原有管道连接时的清洗，吹扫和纯度试验工作的进行。
特种气体管道施工，对于输送有毒，可燃易爆，腐蚀物质的管路系统，其安全施工十分重要，为此在下面摘引国家标准中特种气体管道改建，扩建工程施工的规定，这些规定不仅特种气体管道应严格执行，而且所有输送有毒，可燃，腐蚀物质的管路系统均可参照严格执行。
拆除特种气体管道工程的施工应符合下列要求
施工单位在开工前必须编制施工方案，内容应包含重点部位，作业过程注意事项，危险作业过程的监控，应急预案，紧急联系电话和专门负责人，对潜在的危险向施工人员进行详尽的技术交底。
作业中一旦发生火灾，危险物质泄漏等事故，必须服从统一指挥，按逃生路线依次撤离。
施工中进行焊接等明火作业时，必须取得建设单位签发的动火许可证及动用消防设施许可证。
生产区与施工区之间应采取临时隔离措施及设置危险警示标志，施工人员严禁进入与施工无关的区域。
施工现场必须有业主和施工方的技术人员在场，阀门的开关动作，电气开关动作，气体置换作等都必须由专人在业主技术人员的指导下完成，未经许可，严禁操作，切割改造工作时必须提前在被切割管道全线和切割处明显标识，标识管道现场需得到业主和施工方的技术人员确认，严防误操作。
施工前应将管道内的特种气体用高纯氮气置换尽，且应将管道系统抽真空处理，被置换出的气体必须经过尾气处理装置，达标后排放，改造管道在切割前应充低压氮气，在管内正压状态下进行作业。
施工完毕，测试合格后，应将管道系统内的空气用氮气置换，并将管道抽真空。
竣工检查验收及试运行
改造洁净室的竣工验收，首先应按有关标准，规范对各部分进行检查，验收。这里需强调的是与原有建筑，系统相关部位的检查，验收，有的仅检查，验收还不能证明能符合改造的目标要求，还应通过试运行才能得以验证。所以不仅要做好竣工验收，也要求施工单位同业主等共同做好试运行。
改造洁净室的试运行。改造涉及的各相关系统，设施和设备，应按相关的标准，规范要求，并结合工程的具体情况制定试运行指南和要求，逐一地进行试运行。试运行中应特别注意与原有系统链接部分的检查，新增的管路系统不得对原有系统产生污染，链接前必须做好检查测试，连接时应采取必要的防护措施，链接后的运行必须认真检查测试，达到要求后才能结束试运行。
