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产品介绍：东莞市欧准特仪器有限公司
3D测量显微镜，是同时具有高精度线性测量和观察功能的多功能检测仪器，广泛用于LED照明，半导体，显示屏，微电子器件等产品进行详细检测，主体机构通过搭配不同的镜筒、照明装置、升降机构、物镜及对焦机构的选择，组成多款不同系列的机型，完全按测量要求订购设备。东莞市欧准特仪器有限公司
- 模块化设计，两款经典机身供选择随心所欲加装不同镜
头组及照明系统； - 拥有优越的光学性能和超高测量精度，搭配主体的操作平衡性，让之前不可见的几乎不可见的物件可观察，可测量：
- 次微米精度，出色的多功能性，更适合高性能零件，电子组件的三维测量；
- 可轻易测量易碎工件仪具有极小细节的工件；
- 视场广阔，可得清晰正像，可选配多种CCD摄像机输出图像检测；
- 照明装置（反射，投射），可选用高亮度LED的照明或卤素照明；
- 快速释放装置便于测量大工件或多个数量工件时快速移动工作台，Z轴两侧均同轴粗/微调手轮，确保能以zui 快速度实现高精度对焦。
技术参数：东莞市欧准特仪器有限公司
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产品型号 |
0ZT-1510T |
OZT-2010T |
0ZT-300/400/500非标定制 |
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测量范围mm |
150*100 |
200*100 |
按要求定制 各种测量范围的机型 Z轴电动或Z轴测量 CNC大行程机型定制等 |
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玻璃台面尺寸mm |
160*60 |
260*160 |
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工作台面尺寸mm |
260*160 |
360*260 |
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外形尺寸L*H*Wmm |
480*750*720 |
580*750*720 |
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机器重量KG |
30 |
70 |
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镜筒/图像 |
可选择单目或双目镜筒，带有标准的TV摄像机端口，图像：正像/反像 |
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测量方法 |
明场、暗场、偏光或微分干涉对比观测;辅助对焦系统： |
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目镜 |
10X(视场直径：25mm或22mm),可选十字分板割 |
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物镜 |
95mm:2x.5x.10x.20x.50x(100选配)或60mm：5x,10x,20x,50x,100x |
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明视场 |
所有Plan FLUOR EPI/Plan FLUOR EPI SL系列镜头 |
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暗视场 |
所有Plan FLUOR EPI-BD系列镜头 |
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调焦系统 |
粗微调同轴，左右手柄（粗调：40mm/圈、微调：0.02mm/圈） |
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照明装置 |
投射：白色LED照明，无极亮度可调；反射：内置孔径光阑、无极亮度可调、5W LED光源 |
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数字计数器 |
0.001mm/0.0005/0.0001mm(可选配) |
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测量精度(μm) |
X-Y≤（2.5+0.02L）μm L为被测长度（单位：mm） |
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