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全自动ITO检测机，备主要用于检测TFT-CELL及Module裸露电极区域线路异常（因制程和操作不当导致的划伤，从而引起的线路open或short等缺陷）和线路微划伤（ITO未划透，暂时可以通电），检测系统需采用微分干涉成像技术或其它可以识别线路微划伤（ITO未划透，暂时可以通电）的成像技术，并采用先进算法判定出缺陷，主要包括自动上料，产品搬送单元、AOI检测单元，自动下料单元等。
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产品尺寸范围 |
3-17寸 |
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zui 小缺陷尺寸 |
0.002mm |
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搬送精度 |
X±0.02mm Y±0.02mm |
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适用产品 |
TFT-CELL及Module裸露电极 |
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节拍 |
6-12S |
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电压/功率 |
AC220V / 50HZ /10KVA |
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漏检率 |
≤1% |
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过检率 |
≤5% |
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空气源压力 |
0.5-0.7kgf/cm |
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洁净度 |
0.5um |
