特点:
启动快,耗功少,运转维护费用低,抽速大、效率高,对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感,在100~1帕压力范围内有较大抽气速率,能迅速排除突然放出的气体。这个压力范围恰好处于油封式机械真空泵与扩散泵之间。因此,它常被串联在扩散泵与油封式机械真空泵之间,用来提高中+间压力范围的抽气量。这时它又称为机械增压泵。
在较宽的压力范围内有较大的抽速
(1)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(2)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(3泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(4)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(5转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。